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J-GLOBAL ID:201602000598873167   整理番号:71A0243117

MOS電界効果トランジスタの光効果

著者 (2件):
資料名:
号: 85  ページ: 16p  発行年: 1970年 
JST資料番号: F0885A  資料種別: 技術報告 (T)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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MOS電界効果トランジスタ(MOSFET)のチヤネルの光効果の起因として1)半導体基板内の過剰キャリアの生成によるしきり値電圧の減少,2)チャネルの光伝導度,の2つについて簡単な理論的検討を行なった。つぎにCVD法によって被着したSnO2ガラス薄康を透明なゲート電極とするMOS形FETを作〓チャネルの光効果の実験的検討を行なった。 基板とドレイン,ソースとを開放にしてチャネル領域に光を照射し,ドレイン・ソース間に流れる光電流を測定した結果は,チャネルの光伝導度によって定性的,定量的に大体説明できた;写図9
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