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J-GLOBAL ID：201602000659098510   整理番号：72A0050665

表面あらさの光学的測定法

Optische Verfahren zum Messen der Oberflaechenrauhigkeit.

著者 (1件)： ZEHENDER E
資料名： Forsch Ingenieurwes  (Forschung auf dem Gebiete des Ingenieurwesens. Ausgabe A)
巻： 37  号： 4  ページ： 115-118  発行年： 1971年 
JST資料番号： C0010A  ISSN： 0015-7899  CODEN： FIGWA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： ドイツ語 (DE)

抄録/ポイント： 本文は表面あらさの光学的な測定法を紹介すると共に,その得失についてのべた。表面の特性は光の分散の度合を測定することによってわかるが,表面の構造の場合は分散のピークの半幅値の比較によって行なわれる。あらさの高さ値は光切断顕微鏡や顕微干渉計で測定される。顕微干渉計の測定範囲は多重ビーム干渉法によるとより小さな高さ値に拡大されるが,横方向の分解能を減少させる。間接的なレプリカ法によると約0.5μmから20μmまで拡大できるが,垂直方向の分解能を減少させる。しかしこの方法によれば顕微干渉計で最も技術的に重要とする表面あらさの高さ測定が可能である;写図12参2

シソーラス用語： 光学的測定
準シソーラス用語： 表面あらさ ,  表面あらさ試験

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面あらさ ,  光学的測定法