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J-GLOBAL ID：201602000752227150   整理番号：71A0243831

超音波接合におけるA1細線の変形特性と接合過程

著者 (4件)： 柏原みのる ,  服部誠示 ,  青木武 ,  斎藤保直
資料名： 電気通信研究所研究実用化報告  (研究実用化報告)
巻： 19  号： 11  ページ： 2113-2123  発行年： 1970年 
JST資料番号： F0137A  ISSN： 0415-3200  CODEN： DTKKA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体集積回路の内部リード接続技術の歩留りを向上し.品質の再現性を確実にするため,Al蒸着膜とAuめっき面に接合したAl細線の塑性変形とはく離面を観察し.接合強さとの関係を検討して超音波接合機構を考察した。 その結果,変形幅で評価したAl細線の塑性変形は接合条件だけでなく.接合面の材質,膜厚ならびに微視的な表面状態の影響を受ける。 超音波出力に対する変形特性は接合面におけるすべりと金属間の凝着現象の進行と関係し.変形幅の変化率が異なる。 接合過程では超音波振動に基づく接合面間の塑性流動によって生じた新生な金属面の接触と摩擦による温度上昇とが寄与して.金属拡散によって接合が達成されること.などを明らかにした;写図12参6

シソーラス用語： 半導体集積回路
準シソーラス用語： Al細線 ,  Al細線(半導体集積回路/超音波接合) ,  接合特性 ,  接合特性(Al細線/半導体集積回路) ,  超音波接合 ,  超音波接合法 ,  超音波接合法(半導体集積回路/Al細線) ,  半導体集積回路(超音波接合法/Al細線)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超音波接合 ,  細線 ,  変形特性 ,  接合過程