抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ビーム電流および位置のモニタとして役立つ2次放出はくを作った6μの厚さ,直径4cmのMylarの円形はくの上に金を蒸着して3つの電流モニタはくを作り,それをビームに垂直におき,中心のはくはコレクタとして外側の2つは高電圧はくとして用いた。0.1μAの電流では0.1mmまで正確に位置が決定可能;図1参1