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J-GLOBAL ID:201602000856573513   整理番号:71A0083811

真空蒸着での拡散および熱伝導の過程

Процессы днффузии и теплопроводности в вакуумныx конденсатах.
著者 (2件):
資料名:
巻: 30  号:ページ: 276-280  発行年: 1970年 
JST資料番号: R0032A  ISSN: 0015-3230  CODEN: FMMTA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語: ロシア語 (RU)
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しばしばみられる例をとって,直線的に移動する境界を有する範囲に対する熱伝導の方程式の解の方法について述べている。真空蒸着の研究にとって興味深い三つ場合に対するその方程式の解を導いている。(1)小量の不純物を含む金属をるつぼ中で蒸着する場合での蒸着膜の厚さ方向にそっての不純物の分布。(2)原子が蒸着される過程の温度のこう配。(3)下地の表面で存在する汚染原子の濃度の時間変化;表1参8
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