抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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無限に長いスリットの場合にコリメーション誤差をフーリエ変換法により補正する方法を,任意の強度分布に対して適用できるように導出した.有限長さのスリットの効果を検討し,その補正法へのアプローチを行なった;図1参12