抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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フレキシブルな隔壁を介して真空チャンバー側にはラバーコートした円盤のついた軸が円盤が隔壁に接触するよう配置してある。チャンバーの外にはモータがあり,その軸の先にローラが二つ付いていて隔壁に接している。モータが回るチャンバー内の軸も回転し,速度はラバータートしたローラに働く圧力によって変えられる;写図1