抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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真空蒸着によって薄膜電子回路を製作する方法の説明.回路のパターンの原因は.透明な積層板に赤い塗料を塗布して.これに機械で切込んで作る.この原図を写真で1/25~1/100に縮尺し.ベリリウム銅板上に感光塗料を塗布して焼付け.現像.その表面をニッケルメッキして,ベリリウム銅板を塩化鉄で溶し去ると.マスクができる.10
-6mmHgで真空蒸着.膜厚はモニター抵抗膜とソレノイド制御のシャッタで行う.完成した回路は真空中300°Cで30分間焼鈍.取出して後.なるべく早く耐湿塗装する;写2図9表1
