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J-GLOBAL ID：201602001531606268 整理番号：61A0122293
酸化物マスク
Oxide masking.
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資料名：
Bell Lab Rec (Bell Laboratories Record)
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巻：
38
号：
11
ページ：
417-420
発行年：
1960年
JST資料番号：
B0061A
ISSN：
0005-8564
CODEN：
BLRCA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シリコンメサトランジスタの製造に二酸化シリコンをマスクとして利用すれば,アクセプタの拡散は妨げず,ドナーの拡散を阻止する性質があり非常に有用なことを,各工程を解説しながら述べた
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