文献

J-GLOBAL ID：201602001636290037   整理番号：70A0001290

ベーク及び調節可能なコンダクタンス法による電離真空計の絶対較正

Absolute calibration of ion gauges by means of a bakeable adjustable conductance.

著者 (4件)： CHOUMOFF P S ,  BERNARDET H ,  MATIVET J ,  SAUNEUF R
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 7  号： 1  ページ： 270-273  発行年： 1970年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 調整可能なコンダクタンスを用いて104Torr以下の圧力でのゲージの絶対較正を行なう方法はコンダクタンスの値の正確な決定とべ一キングの手続きによって制限される。示差干渉型真空計を用いて分子流のコンダクタンスの直接測定を行ない,電離真空計の絶対較正を可能にする;写図4表1参6

シソーラス用語： キャリブレーション
準シソーラス用語： 較正 ,  電離真空計

タイトルに関連する用語 (5件)： ベーク ,  調節 ,  コンダクタンス ,  電離真空計 ,  較正