抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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真空中で蒸着した厚さ0.05~0.5μのSn薄膜を酸素ふん囲気中で熱処理し,SnO
2薄膜を作った.室温で電気伝導度とHall効果の実験をした結果,Hall移動度は一般に小さく1cm
2/Vsec以下であること,単位面積当りの電気伝導度は酸化温度に依存し,45.0~500°Cの時最大であることがわかった:参1