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J-GLOBAL ID:201602002063346527   整理番号:71A0371007

蒸着Sn薄膜の酸化によるSnOa薄膜の作成

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資料名:
巻:号: 12  ページ: 1551-1552  発行年: 1970年 
JST資料番号: G0520A  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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真空中で蒸着した厚さ0.05~0.5μのSn薄膜を酸素ふん囲気中で熱処理し,SnO2薄膜を作った.室温で電気伝導度とHall効果の実験をした結果,Hall移動度は一般に小さく1cm2/Vsec以下であること,単位面積当りの電気伝導度は酸化温度に依存し,45.0~500°Cの時最大であることがわかった:参1
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