抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ショットキー障壁の枯渇層のパイァン依存性は表面状態に影響を受けない。また実際の測定値が計算による期待値とよぐ一致する。M OSでの不安定性がないなど多くの利点を持つ。今后広ぐ使用されることになるだろう。半絶縁層としてのGaAs基体上に2.5μ,n型=0.45Ωm,μ=7000cロノ命oltseoのGaAsエピタキシャル層を成長させた。ソースとドレインはSnーTeで第一ム接触を,ゲート懐Alを用いた。ショットキー障壁はpn接合ゲートとしても優秀な点を持つ。枯渇層を狭くするに必要な適当な順バイアスも可能であり,高周波動作に対しの蓄積効果を持たない;図3参2