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J-GLOBAL ID:201602002268511172   整理番号:69A0286371

走査電子顕微鏡による凹凸の測定

著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 8-12  発行年: 1969年 
JST資料番号: G0203A  ISSN: 0549-4451  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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走査電子顕微鏡を用い試料の立体写真を撮影し,撮影された写真を解析することにより試料の断面図を得た。断面図は実際の試料断面と良く一致した。さらに図化器を使用して試料の等高線図を得た。また高さの測定における誤差について理論的検討を行なった;写図14
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