抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ピロりん酸系電解液中にアンモニウム塩を添加しても,分極過程が小さくなるだけであって,同形構造のCu電着物を得る時の最大許容電流密度は大きくならない。最適電解条件では,ほとんど同一電流密度では,同一のCu構造が得られる。温度を60°Cまで高めることによって,ピロりん酸塩電解液からの銅めっき過程を5-6倍も促進することができる;写図2参10