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J-GLOBAL ID:201602002388484357   整理番号:70A0084611

ハイブリッド回路技術と多層パッケージング

Hybrid circuit technologies and multilayer packaging.
著者 (1件):
資料名:
巻: 57  号:ページ: 135-137  発行年: 1970年 
JST資料番号: D0341A  ISSN: 0032-1397  CODEN: PLATA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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膜厚および薄膜微小電子回路の製造技術,めっきらの現状を紹介するとともに各々を多層に集積してLSIを開発するとすれば,どのような問題点があるかについて論じる。信頼度の高い多層モジュールを得る条件を厚膜,薄膜,めっきについて示す;写図5参5
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