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J-GLOBAL ID:201602002389516309   整理番号:74A0005515

フォトロッキング-光導波管を作るための新しい技術

Photolocking - A new technique for fabricating optical waveguide circuits.
著者 (4件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 72-74  発行年: 1974年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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低い屈折率をもっ高分子膜中にドーパントをロックあるいは固定するため光化学反応を利用し未反応ドーパントをその役加熱により除去するという新しいプロセスにより損失の少い誘電体光導波管を作った。λ=364nmでのレーザービーム書込みと313nmでの接触プリントにより狭い導波管(~4μm幅,△n~1%)が作られ,その損失は633nmで0.20±0.05dB/cmである;写図3参8
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