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J-GLOBAL ID：201602002396317168   整理番号：69A0029120

スパッタされたポリテトラフルオルエチレン(PTFE)薄膜の摩擦

Friction of sputtered PTFE films.

著者 (2件)： HARROP R ,  HARROP P J
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 3  号： 2  ページ： 109-117  発行年： 1969年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スパッタされた0.01~12μmのPTFE薄膜の摩擦に関する研究。膜の厚さ,荷重,蒸着速度および熱処理条件などを変えて測定した。摩擦は厚さと共に増加し,荷重を増すと減少する;写図5表1参12

シソーラス用語： 薄膜 ,  摩擦
準シソーラス用語： スパッタ膜 ,  ポリテトラフルオルエチレン ,  ポリテトラフルオルエチレン(薄膜)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  ポリテトラフルオルエチレン ,  PTFE ,  薄膜 ,  摩擦