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J-GLOBAL ID：201602002398083954   整理番号：72A0033194

万能型電子ビーム薄膜蒸着装置

A versatile system for controlled electron-beam deposition of thin films.
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著者 (1件)：
ORON M

ORON M について


資料名：
Vacuum  (Vacuum)

Vacuum について


巻： 21  号： 8  ページ： 315-318  発行年： 1971年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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zつの線形加速電子銃を使用した真空薄膜蒸着装置の設計および製作について述べた。8ステージの水冷蒸発源と8ステージの温度制御した基板ホルダをもっている。動作特性についても述べた;写図4参2
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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真空蒸着

真空蒸着 について


準シソーラス用語：
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電子ビーム蒸着装置

電子ビーム蒸着装置 について


タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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電子ビーム

電子ビーム について

, 
薄膜蒸着

薄膜蒸着 について


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