抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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上記成長においては原料融液も溶融B203でおおわれ,育成室の気体圧力は55気圧となり,一般のCzochralski法より複雑である。しかし高周波感応体の一部であるアフタヒーターの使用によって熱応力を減少させ,ひび割れを防ぎ,底の平らなるつぼの併用によって高い品質の結晶が十分な径の制御のもとに得られた。結晶の転位密度は104~105cm-2である;写図17参16