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J-GLOBAL ID:201602002770285542   整理番号:71A0031554

コランダム上のゲルマニウム薄膜の晶出

К кристаллизации пленок германия на сапфире.
著者 (5件):
資料名:
巻: 15  号:ページ: 857-859  発行年: 1970年 
JST資料番号: R0058A  ISSN: 0023-4761  CODEN: KRISA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語: ロシア語 (RU)
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コランダム上のゲルマニウムのエピタクシー晶出特性に対する基板の温度と水素化物濃度の影響を研究した。その厚さに依存した得られるエピタクシー層の電気的性質を調べた。薄層の厚さが増すと一定の程度まで電荷キャリア移動度が増加し,薄膜構造の完全度に影響を及ぼす;写図2表1参9
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