抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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丸いレンズの3次の球面収差と1次の色収差は丸くない補正レンズによって補償することが出来る。補正された電子レンズの1次の開孔収差,コマ収差,3次の非点収差を計算し,分解能の限界と像点についての知識を得た。特に補正されたレンズでは60kV一電子に対しておよそ100個の像点が分解され,分解能の限界は0.5Aであった;写図6表2参15