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J-GLOBAL ID：201602002950118202   整理番号：71A0243508

高周波スパッタエッチングにおけるクロームガラス板の冷却

Cooling of chrome glass plates produced by RF sputter etch.

著者 (2件)： PERKINS M H ,  SQUARZINI J Jr
資料名： IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)
巻： 13  号： 5  ページ： 1182  発行年： 1970年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： クロームをつけたガラス板を0リングを使用してスパッタを行なう側と反対側のシールをし.反対側を局部的な真空に保つことによって,冷却に必要な空気の流れを充分に与えることができる;写図1

準シソーラス用語： クロームガラス板 ,  ニッチング ,  ニッチング(高周波スバッタ/冷却法) ,  高周波スバッタ ,  高周波スパッタエッチング ,  高周波スパッタエッチング(クロームガラス板/冷却法) ,  冷却法

タイトルに関連する用語 (4件)： 高周波スパッタ ,  エッチング ,  クローム ,  ガラス板