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J-GLOBAL ID：201602002951311677   整理番号：66A0222935

気相からの純金属の析出速度の計測法

O методе замера скорости осаждения чистыхметаллов из газовой фазы.

著者 (3件)： АИЗЕШИЬШ A Г ,  ИВАНОВ В А ,  ЛИСОВСКИМ Д И
資料名： Tsvetn Met  (Tsvetnye Metally)
巻： 38  号： 9  ページ： 65-66  発行年： 1965年 
JST資料番号： R0023A  ISSN： 0372-2929  CODEN： TVMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN) 

抄録/ポイント： 気相から純物質の析出のプロセス研究の困難は多くの場合,析出速度の絶対値がきわめて小さくて直接測定ができない点にある。析出量の増加に伴のう電気抵抗変化を検出し,またサーボ機構を用い析出速度を連続的にコントロールする電気回路を設計した。実験の相対誤差は10%以下であった;図2 参1

タイトルに関連する用語 (4件)： 気相 ,  純金属 ,  析出速度 ,  計測法