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J-GLOBAL ID:201602002986876480   整理番号:66A0001627

ベローなしの真空弁

Безсильфонные вакуумные вентили.
著者 (2件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 207-209  発行年: 1965年 
JST資料番号: R0082A  ISSN: 0032-8162  CODEN: PRTEF   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 旧ソビエト連邦 (SUN) 
抄録/ポイント:
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金属製のベローおよび研摩薄板を用いない,高真空および予備真空のための,簡単に製作できて動作の信頼性の高い,いくつかの型の真空弁を記述する。これらの型の弁は,X線分光写真器および真空スパッタ装置において使用されて,その便利さを発揮した;写1図4
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