抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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金属製のベローおよび研摩薄板を用いない,高真空および予備真空のための,簡単に製作できて動作の信頼性の高い,いくつかの型の真空弁を記述する。これらの型の弁は,X線分光写真器および真空スパッタ装置において使用されて,その便利さを発揮した;写1図4