抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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英国スウイドンのセミコンダクタ社の高周波用の表面せき層型トランジスタの新工場の紹介。これは窓なしの平家建築で総アルミ張りである。内部ば温度68±2°F,湿度40±5%,ちりの量1cm
3当り1μ
3に保っている。また使用する水は浄化装置により,イオンを除いて抵抗率18MΩ/cm
2以下にしている。生産工程の輪かくを述べた