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J-GLOBAL ID:201602003136426385   整理番号:72A0254840

ICの熱分布とその検査

著者 (2件):
資料名:
巻: 16  号: 12  ページ: 1270-1276  発行年: 1971年 
JST資料番号: F0037A  ISSN: 0421-3513  CODEN: ERKTA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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ICの熱分布の測定に関する代表的な方法として,赤外線放射を利用したサーマル・マイクロプロッタおよびサーマル・マイクログラフィの二つの手法を中心に解説した。放射の法則,代表的装置姓能を概説し,パワートランジスタの放射エネルギーおよび温度分布図,ICのサーマル・マイクログラフィの例を示した。 装置の応用として理論設計の立証,生産管理,故障解析の実例とその効果を示した;写図14表1参3
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