抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ICの熱分布の測定に関する代表的な方法として,赤外線放射を利用したサーマル・マイクロプロッタおよびサーマル・マイクログラフィの二つの手法を中心に解説した。放射の法則,代表的装置姓能を概説し,パワートランジスタの放射エネルギーおよび温度分布図,ICのサーマル・マイクログラフィの例を示した。 装置の応用として理論設計の立証,生産管理,故障解析の実例とその効果を示した;写図14表1参3