抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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抵抗率410Ωcmの高純度Siの超音波速度と弾性率の圧力および温度依存性を0~2100kg/cm
2の圧力範囲,25~-195.8°Cの温度範囲で測定した。温度変化は縦波測定に対して40Mc/s。Xカタトの水晶変換器を用いて測定した。弾性率の圧力変化はほとんど温度に依存しない。25°Cでは(△c
11/△p)=4.33,(△c
12/△p)=4.19,(△c
44/△p)=0.80,(△K/△p)=4.24,-195.8°Cでは(△K/△p)=4.29,(△c
12/△p)=4.20,(△c
44/△p)=0.75,(△K/△p)=4.23の値が得られた;図5表7参8