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J-GLOBAL ID：201602003298038184   整理番号：71A0042623

冷プラズマ凝縮(二極スパッタ)で作られる薄膜の“核生成-成長”の機構 III 議論

Mecanismes de ”germination-croissance” de couches minces synthetisees par condensations de plasmas froids (pulverisation diode). III. Discussion.

著者 (1件)： LAVILLE SAINT MARTIN B
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 6  号： 5  ページ： 359-377  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： フランス語 (FR)

抄録/ポイント： 前報までに,二極スバッタで作られる毒膜あ,核生成一成長の遮程を説明する理論を,特に銅についての実験に基いて提唱した。この報告では・この理論を詳細に論究し.一般的な結論に到達。最緩に,二極系でのスパッタされた薄膜のいくつかの特性が,この理論的な模型によってどのように示されるかを記述;写図4参29

シソーラス用語： スパッタ ,  核形成 ,  銅 ,  薄膜

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  凝縮 ,  スパッタ ,  薄膜 ,  核生成 ,  成長 ,  議論