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J-GLOBAL ID：201602003311173533   整理番号：72A0253849

エレクトロニクスにおける電気移動と損傷序論

Electromigration and failure in electronics: An introduction.

著者 (1件)： D’HEURLE F M
資料名： Proc IEEE  (Proceedings of the IRE)
巻： 59  号： 10  ページ： 1409-1418  発行年： 1971年 
JST資料番号： D0378A  ISSN： 0018-9219  CODEN： IEEPAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気移動現象のいくつかの基本的な諸問題を概観した。バルクの試料では,電場中で原子は電場と電気キャリヤの運動から生じる力を受け,原子の変位が生じる。薄膜では,電気移動は粒界拡散機構によって比較的低温で起る。電気移動は,いろいろな物質の不連続点で損傷を引きおこす。アルミニウムにおけるクラック形成の過程について述べた。膜純度,結晶軸方向,粒子サイズ,ガスラ被覆などの効果についても述べた;写図12参82

シソーラス用語： 電気泳動 ,  薄膜
準シソーラス用語： 故障物理

タイトルに関連する用語 (3件)： エレクトロニクス ,  電気移動 ,  損傷