抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ZrO
2結晶にSnまたはBiを不純物として加えることによってρ20°C~10~10
8Ω・cmの半導体をうることができる,半導体ZrO
2薄膜は力学的にも化学的にもつよい。可視光に対して透明で,表面伝導度は10
-6~10
-8Ω
-1cm
-1である