強磁性体蒸若膜の蒸着温度

BOURNE H C Jr; CHOW L G; BARTRAN D S

文献

J-GLOBAL ID：201602003550947591 整理番号：72A0033335

強磁性体蒸若膜の蒸着温度

Deposition temperature of evaporated permalloy filis.

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資料名：
巻： 8 号： 5 ページ： 619-621 発行年： 1971年
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTAL 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

真空蒸着したクロメルーコンスタンタン薄膜熱電対を開発し,強磁性体蒸着膜の蒸着温度測定に使用した。低蒸着速度(15A/s)のときガラス基板の温度より最大128°C高くなっていることが測定されたdその要因および状態を詳細に検討した;写図5表1参5

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