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J-GLOBAL ID：201602003600823538   整理番号：74A0237316

走査形電子顕微鏡によるレーザトリム厚膜抵抗の特性

Characterization of laser-trimmed thick-film resistors by scanning electron microscopy.

著者 (2件)： HOWARD R T ,  ALLEN R V
資料名： Int Microelectron Symp  (International Hybrid Microelectronics Symposium)
巻： 1971  ページ： 4.1.1-4.1.16  発行年： 1971年 
JST資料番号： A0946B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザによって調整された厚膜抵抗の高信頼度の評価法を確立することを目的とした研究について述べた。数種類の異なった抵抗材料にレーザトリミングした効果についての研究結果を示した。研究はレーザトリムのSEMによる視覚的検査結果を含んでおり,また,レーザトリミング装置は異なる数社の製品を使用した;写図9表6参16

シソーラス用語： レーザ加工 ,  厚膜抵抗 ,  信頼性
準シソーラス用語： ばり取り ,  抵抗材料

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査形電子顕微鏡 ,  レーザ ,  トリム ,  厚膜