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J-GLOBAL ID：201602003700020050   整理番号：70A0004778

表面層をもっている透明な基板の上に覆われた透明な薄膜のだ円偏光法

Ellipsometry of a transparent film overlaid on a transparent substrate having a surface layer.

著者 (4件)： KINOSITA K ,  NISHIBORI M ,  YAMAMOTO M ,  YOKOTA H
資料名： Opt Acta  (Optica Acta)
巻： 17  号： 2  ページ： 115-121  発行年： 1970年 
JST資料番号： D0250A  ISSN： 0030-3909  CODEN： OPACA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膜厚のd,と大きな屈折率n,をもつ基板の上に覆われた薄膜の屈折率η,のだ円偏光法による決定は,基板の表面の薄い表面層(研摩面)の存在に影響される。だ円偏光計の読み△とtanψは入射する偏光の角度がψ,=tan”n,の条件のときとし,表面層は厚さd,と屈折率n,の一様な層であると見なした。計算にはIBM360-44計算機で行ない,結果を△-tanψの極座標グラフ上にプロットした;写図6参4

シソーラス用語： 屈折率 ,  薄膜 ,  膜厚
準シソーラス用語： だ円偏光法 ,  だ円偏光法(薄膜) ,  屈折率(薄膜)

タイトルに関連する用語 (3件)： 表面層 ,  薄膜 ,  だ円偏光法