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J-GLOBAL ID：201602003955469050 整理番号：61A0120728
高純度シリコンの製造
Production du silicium de haute purete.
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著者 (1件)：
MARCEL P
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資料名：
Acta Electron (Acta Electronica)
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巻：
4
号：
4
ページ：
465-478
発行年：
1960年
JST資料番号：
A0308A
ISSN：
0001-558X
CODEN：
ACELA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
フランス (FRA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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電子工業に要求されるシリコンの量を考際し,高純度シリコンを得る方法として開発されたおもなる方法(四匿化珪素の亜鉛または水素還元,四塩化珪素などの熱分解,など)を述べる.これらいろいろの方法における能率および将来の発展が比較される
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