抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体工業において,生産を自動化し生産量をあげるために,コンベヤ炉の需要が高まってきた。ここでは大電力ダイオードあるいはサイリスタの接合を行なうコンベヤ炉についてのべた。炉の温度は種類によって異なるが900°C~1300°Cで,温度制御の精度は±1°C~±3°Cの範囲にある。また,拡散炉についてものべた;写図5