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J-GLOBAL ID:201602004133750900   整理番号:71A0060173

蒸着白金薄膜の電気的研究および熱量計への応用

Etude electrique des couches minces de platine pulverise; avec application aux fluxmetres therringues.
著者 (1件):
資料名:
号: 168  ページ: i,1-55  発行年: 1970年 
JST資料番号: H0218A  ISSN: 0078-3781  資料種別: 技術報告 (T)
記事区分: 原著論文  発行国: フランス (FRA)  言語: フランス語 (FR)
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短時間で用いられる熱量計の電気的特性を決定するために一連の実験を行った。10Åの極く薄い薄膜から3000Åの厚い膜に到る各種の蒸着膜について研究し,300°Cでポンピングを止めた場合最も吸着力の強い層が得られる事がわかった。200Åの膜の厚さに対しては,不純物が増加しても抵抗値および温度係数は大きくは変らない。蒸着層が粒状あるいは結晶を作る場合には,膜の抵抗と温度係数との積は低温域において不規則性を示す。流量計の要素の平均特性としてはこの積が0.2Ω/°Cとなり,膜厚は200Åであった。電子の反発係数が不明なので,良い再現性を得るのは困難;写図41参19
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