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J-GLOBAL ID：201602004332595329   整理番号：74A0009383

可干渉光回折像による表面あらさの自動検出と制御方法

Automatic detection and control of surface roughness by coherent diffraction patterns.

著者 (1件)： INARI T
資料名： Proc Soc Photo Opt Instru  (SPIE Annual Technical Symposium Proceedings (Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers))
巻： 16th  ページ： 47-53  発行年： 1973年 
JST資料番号： D0744A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属などの表面あらさの形状とコヒーレント光回折像との関係を解析し,特に表面のあらさがほぼ周期的の場合には,回折像から周期的あらさの不規則性が感知できることを示す。次いで数種の研摩過程における金属表面からの回折像を写真で示し,表面あらさの推定を行なっている。さらに回折像と金属表面の顕微鏡写真とを比較対照して本方法の有効性を論ずる;写図8表1参5

シソーラス用語： 顕微鏡写真 ,  光回折
準シソーラス用語： 金属表面処理 ,  表面あらさ ,  表面あらさ試験

タイトルに関連する用語 (4件)： 可干渉光 ,  回折像 ,  表面あらさ ,  自動検出