抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ここで紹介する精度試験方法は三次元測定器のある種のものを主体に考えたものであるが基本的な考え方は一般の三次元測定器に応用実施できるものであるとして,試験項目を列挙し,試験方法(X軸運動の真直度,Y軸運動の真直度,X軸運動とY軸運動の直角度,Z軸運動のX軸運動に対する直角度,Z軸運動のY軸運動に対する直角度,XY軸運動平面とワークテーブルの平行度,X軸・Y軸・Z軸の指示精度,繰返し精度,ワークテーブルの平面度,スケール単体の精度),測定用具と精度のトレーサビリティ,測定環境(温度,湿度,じんあい,振動)について考察;写図14参1