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J-GLOBAL ID:201602004420142318   整理番号:70A0006433

電子ビーム蒸着を利用したCdS圧電変換器の作製

Fabrication of CdS piezoelectric transducers by electron beam evaporation.
著者 (1件):
資料名:
巻: 12  号:ページ: 177-180  発行年: 1970年 
JST資料番号: H0503A  ISSN: 0022-460X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電子ビーム蒸着により,抵抗値108ΩのCdS薄膜をガラスと銅の台上に作った。圧縮モード及びせん断モード変換器は,台上への蒸着入射角をコントロールすることにより作ることができた。一回の蒸着で100個以上の変換器を作ることができる;写図4参6
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