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J-GLOBAL ID：201602004633719910   整理番号：70A0031872

スパッタ現象と厚さ分布 IV 陽極酸化物Nb₂O₃,Ta₂O₂およびWO₃の陰極スパッタ

Phenomenes de pulverisation et de distribution en profondeur. IV. Pulverisation cathodique des oxydes Nb₂O₅, Ta₂O₅ et WO₃^1.2.

著者 (2件)： NGHI L Q ,  KELLY R
資料名： Can J Phys  (Canadian Journal of Physics)
巻： 48  号： 2  ページ： 137-145  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0229A  ISSN： 0008-4204  CODEN： CJPHAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： カナダ (CAN)  言語： フランス語 (FR)

抄録/ポイント： 2触30keVKrイオンによるスパッタ収率を,イオン衝撃による干渉色の変化,イオンビームによる酸化膜の穴あけ,及びターゲットの質最損失によって決定。これをRo1等の理論及びSigmundの理論と比較し,適当なパラメータを選ぷことにより良い一致を得た。後者から得た表面結合エネルギーは原子化熱の値に近い;写図6表3参34

シソーラス用語： スパッタ ,  陽極酸化
準シソーラス用語： Nb₂O₃ ,  Nb₂O₅ ,  Ta₂0₅ ,  TaO₃ ,  WO₃ ,  スパッタ(Nb₂O₃/TaO₃/W

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  現象 ,  厚さ分布 ,  陽極酸化物 ,  陰極スパッタ