抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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融点が高くふつうの方法では,るつぼの物質の混入を避けられない金属を。高周波加熱を使用して真空蒸着し,反射率,透過率,位相変化などを真空中で測定できるような装麑を製作した。装置の図および写真が示されている。反射率,透過率は真空の側からでも支持水晶板の側からでも測定できるよう工夫されている。位相は等傾角干渉じまを用い支持板の側から測定する。この装置を用いモリブデン薄膜の光学的性質の分光特性曲線および支持板上の位置により膜の厚さが違うための変化などをしらべた;写2図7参9