抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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スパッターの実効係数は粒子の表面エネルギーを下げることにより大きくできる。溶融金属粒子の全エネルギーは表面エネルギーと,静電気エネルギーの和で表わされ,その和を最小にする粒子数がある。とくに表面エネルギーは電荷によって小さくなる。ガススパッターの臨界速度は粒子の電荷を考慮した有効表面エネルギーで表わされる;写図2参3