抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ラッピングメカニズムを解明する手段として,加工中に生じるノイズを解析しようとする試みを論述。実験にはシリコン単結晶を用い,加工ノイズ,切粉の除去速度および仕上面あらさを等を測定し,理論値と比較検討。実験の結果,理論値と実験値とは良く一致し,仕上面あらさと切粉の除去速度は加工ノイズを測定すれば,計算によって求まることを結論;写図4表1