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J-GLOBAL ID：201602004830029942   整理番号：65A0001190

真空系のpump-downの時間に及ぼす前段排気管のコンダクタンス

A theoretical investigation of the effect of foreline conductance on pumpdown time in a vacuum sys tem.

著者 (2件)： BUNN J P ,  WARD L
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 15  号： 8  ページ： 407-408  発行年： 1965年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR) 

抄録/ポイント： 一般に真空系の前段階ポンプによるpump-down時間を算出する場合,前段ポンプの排気管のコンダクタンスは充分大きいものとして無視するのが普通である。しかし,Delafosse,Monfodin(’61)は,前段排気管のコンダクタンスを,粘性流として考慮に入れた計算を行った。この粘性流としてのコンダクタンスは,圧力が充分高いときには問題は無いが〓D<0.5Torr・cm(〓:管に沿っての平均圧力,D:管の直径)となると,気体の流れは粘性流と分子流の中間領域となり,彼らの結果は,修正を要する。ここでは,気体の流れが中間領域のものとし,ガス放出の影響をも考慮に入れて解析を行って;図3参2

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空 ,  排気管 ,  コンダクタンス