抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体ウエファの表面配線を変える事により種々な機能を持った集積回路を作ることができる。 ウエファ全面を金属膜で覆っておき.用途に応してこれをエッチングして配線を施こすことにより個溺弛理を製造工程の最後に近い段階で行なう様にすれば多種少量生壷のコストが低減できる。 この様な方法で作った製品は。ウエファ中央部にSiO
2の保護膜を持っていないので信頼性が低いが.緊急の設計変更に伴なう応急処置などには充分役に立つ;写図1