抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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100-2000eVの1次電子エネルギー範囲でSiO2単結晶からの2次電子放出係数σの1次電子入射角ψにたいする依存性を測定した。結晶構造の規則性がσ(E,)およびη(E,Xη:電子の非弾性反射係数)曲練に与える効果を考察した;写図2参10