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J-GLOBAL ID：201602005092153486   整理番号：70A0247404

陰極反応蒸着したAl₂O₃,薄膜の特性

Cienkie warstwy Al=2 O=3, otrzymane metoda rozpyla-nia katodowego.

著者 (2件)： RYZKO J ,  ZAK J
資料名： Arch Elektrotech (Warszaw  (Archiwum Elektrotechniki)
巻： 19  号： 3  ページ： 607-610  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0027A  ISSN： 0004-0746  CODEN： ARELA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ポーランド (POL)  言語： ポーランド語 (PL)

抄録/ポイント： 蒸着電圧は800~1000V.酸素圧は3~5・10^-2 Torr,フィルム構成速度は20A/minなど標記考察の結果を示した。電界安定性は熱処理とすべての段階での清浄度に依存する;写図6表1参8

シソーラス用語： 蒸着 ,  薄膜
準シソーラス用語： Al₂0₃薄膜 ,  Al₂O₃ ,  Al₂O₃(蒸着) ,  蒸着(Al₂0₃薄膜) ,  薄膜(蒸着/Al₂O₃)

タイトルに関連する用語 (4件)： 陰極反応 ,  蒸着 ,  Al2O3 ,  薄膜