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J-GLOBAL ID：201602005101566810 整理番号：65A0018308
ζンリレ薄膜での新しい構造
A aew structure in tantalum thin films.
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資料名：
Appl Phys Lett (Applied Physics Letters)
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巻：
7
号：
3
ページ：
51-52
発行年：
1965年
JST資料番号：
H0613A
ISSN：
0003-6951
CODEN：
APPLAB
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
短報
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
抄録/ポイント：
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100~20,000Aの薄膜でβ-タンタルと称する新しい構造が見いだされ,この相の純度を(1)発光分光法(2)X線分光法(3)Xeせん光分析法の3方法で調べ通常のbcc Ta膜より純粋であることを確かめた。β-Taの低効率はbcc Taの約5倍,その温度係数は異なる値域にある。6×10
-3
Torr以下の真空で755~775°Cで加熱するとβ→bcc転位が起る
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