抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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siビディコンダイオード素子用の簡単で廉価な.10
-16~10
-15Aの範囲を測定できる電流測定法を記述。動作は.MOSFETソースホ..ロワ入力と並列に被測定ダイオードをおき.入力段に直流電圧を加えたときの電流をソースホロワで検出する。電流はダイオードをCR並列回路.FET入力を容量のみと仮定して,出力電圧の減衰時定数から求める。FETプローブは浮遊容量やろうえい電流を小さくするよう被測定素子に近ずける。10分間の減衰測定から9×10
-6蟹のビディコンダイオードの電流を求め10
-16~10
-15を得た。本方法の測定結果と球の特性を比較し.本方法の優位性がわかった;写図5参2