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J-GLOBAL ID：201602005233447853 整理番号：70A0033320
同時蒸着による薄膜製作のための簡単な装置
A simple apparatus for the preparation of thin films by coevaporation.
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著者 (2件)：
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資料名：
Rev Sci Instrum (Review of Scientific Instruments)
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巻：
41
号：
6
ページ：
874-875
発行年：
1970年
JST資料番号：
D0517A
ISSN：
0034-6748
CODEN：
RSINAK
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
短報
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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二種類の異なった物質を同一基板に同時に蒸着する二蒸発源蒸着法のための簡単な装置を製作した。長さ1m.直径40mmの石英チューブの内部に上下二段のポートを組み込んである。最上部に基板を取り付けるホルダがある。2つのポートおよび基板の各部分に合計3個のヒータがある。操作方法.特長などについても述べた;写図1
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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